Metis Inline / LITE / LAB / SCAN:

——用于“卷对卷”制程的积分球式测量系统

为确保产品获得最高的质量，在制程中控制薄膜沉积工艺并测量薄膜的光学特性是非常重要的。

工艺参数，譬如温度、压力、表面张力、速度和材料特性等，对薄膜的光学参数和产品质量影响甚大，需严格控制并仔细优化。

为产品质量和产线良率，深入了解以下信息至关重要：

●光谱反射率

●光谱透光率

●光谱吸收率

●均匀性

●颜色

●膜层或膜系的厚度

NXT推出的Metis（Inline Process Control System using Integrating Sphere）系列测量系统，适于在线（Inline）和离线应用，其中离线应用还包括LITE、LAB和SCAN三种机型。

通过使用在线测量系统，有助于深入了解工艺优化的细节，从而提高质量并将潜在的浪费将至最低。Metis在线测量系统可以对总反射率和穿透率进行高精度测量。基于先进的光学设计，设备具备较大工作距离和倾斜容差。

Metis测量系统是测量、分析和优化薄膜制造工艺的完美工具。

Metis测量头

Metis离线测量系统

Metis在线测量系统