Helios系列测量系统

在太阳能电池片的制程中，有一些特别重要的步骤，譬如，硅晶片的绒化（Texturing），对裸片表面进行绒化处理的目的在于降低晶片的反射率；而掺杂（Dopping）则是在电池片表面生成PN结；还有镀膜（AR-Coating），目的和钝化（Passivation）一样——降低反射率。太阳能电池片的制造工艺是如此的重视光的反射，所以NXT为晶硅太阳能行业专门设计了Helios系列测量系统，帮助太阳能厂商优化制程工艺，稳定产品质量，以最大限度的提高电池片性能和转换效率。

测量原理

在Helios产品家族中，XiTo和SiCAM产品线应用了NXT久负盛名的光谱仪和激光相机技术。这些技术从20年前开始，就已经密集应用于其他行业。通过对光谱的精确测量数据和相机图像的处理，对特定工艺制程的优化提供基础数据。NXT的数据处理过程是复杂的数学算法和物理模型的完美结合，通过计算获得特定的工艺参数，譬如膜厚、折射率、绝对反射率和其他对精度和稳定性要求甚高的参数。

Helios 晶硅太阳能解决方案

tn产品线：

●Helios Inline-tn：在线测量氮化硅（SiN）减反射膜厚和折射率

●Helios Scan-tn：高端离线测量氮化硅（SiN）减反射膜厚和折射

●Helios Lab-tn：低成本离线测量氮化硅（SiN）减反射膜厚和折射率

rc产品线：

●Helios Lab-rc：快速离线手动测量电池片整体反射率

tex产品线：

●Helios-tex：单晶电池片离线绒化控制工具

XiTo产品线：

●ETA-XiTo：在线掺杂（Doping）控制工具，实时测量磷酸层厚度

畅销产品

新推出的Helios LAB-rc全集成版本

已将所有硬件集成在一个紧凑的外壳中。硅片可在测量平台上左右移动，而整个工作台可以前后移动。

这样，就可以快速的测量6英寸硅片上的任意一点。

ETA-SiCAM测量系统装置示意图：精确测量单晶炉内液口距